當前位置:首頁產品中心其他連續(xù)激光器X射線激光器EUV-B-XRAY20nm 臺式X射線源 脈寬 7 ns
20nm 臺式X射線源 脈寬 7 ns
product
產品分類品牌 | 其他品牌 | 價格區(qū)間 | 面議 |
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組成要素 | 自由電子激光器 | 產地類別 | 進口 |
應用領域 | 化工,建材,電子 |
激光源產生的紫外/軟X射線輻射是Tingen在激光實驗室開發(fā)的,由高脈沖能量YAG激光器(1064nm,800mJ,7ns)聚焦于氣體電離產生。不同的目標氣體對應不同的能譜分布。
● 低殘留
● 高EUV能量(3.5 MJ)
● 低耗氣量(氣體脈沖持續(xù)時間:<1 ms)
● 簡單目標氣體交換
● 桌面系統(tǒng)
● 計量:反射測量、吸收
● 光譜學(nexafs)
● 光學/傳感器測試
● EUV損壞調查
● 材料相互作用基礎研究
● 水窗顯微鏡(λ=2..4納米)
參數(shù) | 單位 | 指標 |
產品編號 | EUV-B-XRAY | |
工作波長 | nm | 20nm |
脈寬 | ns | 7 |
脈沖能量(Xe) | mJ | 3.5(4π sr, 2% BW) |
轉換效率 | % | 0.45 |
等離子形狀 | NA | ? ~ 300 µm |
重復頻率 | HZ | 10 |
測試數(shù)據(jù)展示: